文件名称:论文研究-TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究 .pdf
文件大小:646KB
文件格式:PDF
更新时间:2022-09-05 20:42:45
TMBS
TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究,徐晨余,,本文主要阐述了TMBS(沟槽MOS势垒肖特基二极管)的器件形貌改善经过及结果,并详细介绍了该类型器件围绕刻蚀工艺变更而对各项工艺��
文件名称:论文研究-TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究 .pdf
文件大小:646KB
文件格式:PDF
更新时间:2022-09-05 20:42:45
TMBS
TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究,徐晨余,,本文主要阐述了TMBS(沟槽MOS势垒肖特基二极管)的器件形貌改善经过及结果,并详细介绍了该类型器件围绕刻蚀工艺变更而对各项工艺��