论文研究-Trench SBR器件的CMP相关工艺研究 .pdf

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更新时间：2022-09-14 18:26:33

Trench SBR

Trench SBR器件的CMP相关工艺研究，顾文炳，陈东坡，本文主要阐述了Trench SBR（沟槽超级势垒整流器）的器件形貌改善经过及结果，并详细介绍了该类型器件围绕CMP工艺变更而对各项工艺的��