论文研究-沟槽功率器件的源层光刻工艺研究 .pdf 时间:2022-09-03 10:36:55 【文件属性】: 文件名称:论文研究-沟槽功率器件的源层光刻工艺研究 .pdf 文件大小:756KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-03 10:36:55 沟槽功率器件 沟槽功率器件的源层光刻工艺研究,周闻天,缪进征,本文主要阐述了沟槽功率器件的源注入光刻层工艺优化的过程及结果,并详细介绍了源注入光刻层工艺变更对各项工艺的影响。基于器件 立即下载