论文研究-超结器件制造工艺及其结构的优化 .pdf

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文件名称：论文研究-超结器件制造工艺及其结构的优化 .pdf

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更新时间：2022-09-07 22:29:06

半导体技术

超结器件制造工艺及其结构的优化，陆怡，，本文主要阐述了Super Junction（超级结）功率半导体器件工艺及结构改善的方法及结果。通过制造工艺的优化，克服深槽型超结工艺在生产�