论文研究-铜互连双大马士革结构刻蚀清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究 .pdf

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更新时间：2022-09-07 21:49:09

铜互连

铜互连双大马士革结构刻蚀清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究，姬峰，王英，本文针对后段铜互连工艺中出现的图形变异失效，通过物理结构分析确定失效模式为双大马士革结构一体化刻蚀后湿法清洗过程中的铜腐