论文研究-智能剥离工艺硅表面腐蚀失效机理探究 .pdf

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更新时间：2022-09-08 08:24:41

智能剥离工艺

智能剥离工艺硅表面腐蚀失效机理探究，董磊，，智能剥离工艺是SOI制成过程中较为常用的工艺之一。一些硅相关缺陷对于即将来临的低纳米IC产品来说显得更加敏感。在低于13nm制成的IC�