文件名称：铝和铜互连线的晶粒结构及残余应力研究 (2010年)
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更新时间：2024-06-03 03:50:41
工程技术 论文
采用X射线衍射仪和扫描探针显微镜，观察和测量了分别由大马士革工艺制备的Cu互连线和由反应刻蚀工艺制备的Al互连线的晶粒结构和应力状态。大马士革工艺凹槽中的Cu互连线受到机械应力的影响，使Cu互连线的晶粒尺寸（45～65nm）小于Al互连线的晶粒尺寸（200～300nm）；Cu互连线（111）的织构强度（2.56）低于Al互连线（111）的织构强度（15.35）；Cu互连线沿线宽方向的应力σ22随线宽的减小而增加，即沉积态和退火态的Cu互连线的σ22由73和254MPa（4μm线宽）分别增加到104和301