文件名称:集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延
文件大小:4.46MB
文件格式:PPT
更新时间:2023-09-14 05:21:06
外延
第3章 外延微电子工艺田 丽第3章 外延3.1概述3.2气相外延3.3分子束外延3.4其它外延3.5外延层缺陷及检测3.1概述3.1.1外延概念在微电子工艺中,
文件名称:集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延
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更新时间:2023-09-14 05:21:06
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第3章 外延微电子工艺田 丽第3章 外延3.1概述3.2气相外延3.3分子束外延3.4其它外延3.5外延层缺陷及检测3.1概述3.1.1外延概念在微电子工艺中,