集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延

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文件名称：集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延

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更新时间：2023-09-14 05:21:06

外延

第3章 外延微电子工艺田 丽第3章 外延3.1概述3.2气相外延3.3分子束外延3.4其它外延3.5外延层缺陷及检测3.1概述3.1.1外延概念在微电子工艺中，