集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散

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文件名称：集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散

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更新时间：2023-09-14 05:24:46

扩散

集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散 5.1扩散机构 5.2晶体中扩散的基本特点与宏观动力学方程 5.3杂质的扩散掺杂 5.4热扩散工艺中影响杂质分布的其它因素 5.5扩散工艺条件与方法 5.6 扩散工艺质量与检测 5.7 扩散工艺的发展