论文研究-厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法 .pdf

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文件名称：论文研究-厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法 .pdf

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更新时间：2022-09-04 06:21:58

绝缘层上硅

厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法，王文宇，郑健，本文介绍了厚膜绝缘层上硅材料（SOI）的一种新型制备工艺方法，并分析该制备方法中外延层过渡区问题，并提出利用传统化学机械抛光