论文研究-硅微通道阵列厚层氧化技术研究 .pdf

【文件属性】：

文件名称：论文研究-硅微通道阵列厚层氧化技术研究 .pdf

文件大小：332KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-06 02:52:05

硅微通道阵列

硅微通道阵列厚层氧化技术研究，张翼，王国政，基于硅微通道阵列厚层氧化机理，对n型（100）晶向硅微通道阵列进行了不同时间的湿氧氧化，用扫描电子显微镜对氧化前后通道阵列进��