论文研究-硅微通道阵列高温氧化过程中热应力分布模拟 .pdf

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文件名称：论文研究-硅微通道阵列高温氧化过程中热应力分布模拟 .pdf

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更新时间：2022-09-04 07:13:23

高温氧化

硅微通道阵列高温氧化过程中热应力分布模拟，孙振庭，王宇，硅微通道阵列经高温氧化过程会产生不规则形变，是高温环境下产生的热应力所致。本文通过用ABAQUS有限元模拟软件对硅微通道阵列在高