论文研究-基于湿法腐蚀的硅微通道整形技术研究 .pdf

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文件名称：论文研究-基于湿法腐蚀的硅微通道整形技术研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 03:28:31

湿法腐蚀

基于湿法腐蚀的硅微通道整形技术研究，李海斌，王国政，基于湿法腐蚀原理，研究了低浓度TMAH溶液对（110）和（100）面腐蚀特性的影响，测量了不同温度和浓度下TMAH对（110）和（100）面的腐蚀�