论文研究-飞秒激光在硅中诱导三维微通道 .pdf

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文件名称：论文研究-飞秒激光在硅中诱导三维微通道 .pdf

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更新时间：2022-09-05 08:13:11

飞秒激光

飞秒激光在硅中诱导三维微通道，石旭，李存霞，本文介绍了利用飞秒激光脉冲在硅中诱导微通道。利用位于硅吸收波段的800 nm波长的飞秒激光在硅样品中诱导出多层微通道。采用激光横