论文研究-硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 14:28:04
湿法腐蚀 硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究，崔丹丹，端木庆铎，电化学刻蚀技术是制作硅微通道结构最常见的技术，此技术制备出的硅微通道结构是不通透的，需要通过结构释放中湿法腐蚀的方法把硅