论文研究-硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究 .pdf

时间:2022-09-05 14:28:04
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更新时间:2022-09-05 14:28:04

湿法腐蚀

硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究,崔丹丹,端木庆铎,电化学刻蚀技术是制作硅微通道结构最常见的技术,此技术制备出的硅微通道结构是不通透的,需要通过结构释放中湿法腐蚀的方法把硅


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