论文研究- PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 .pdf

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更新时间：2022-09-06 19:43:28

薄膜

PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 ，王铁渠，黄其煜，在半导体集成电路制造PECVD工艺中，经常会遇到薄膜颗粒缺陷问题。本论文总结了PECVD 中薄膜颗粒的类型和形成原因以及改善方法。PECVD��