论文研究- PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 .pdf 时间:2022-09-06 19:43:28 【文件属性】: 文件名称:论文研究- PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 .pdf 文件大小:464KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-06 19:43:28 薄膜 PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 ,王铁渠,黄其煜,在半导体集成电路制造PECVD工艺中,经常会遇到薄膜颗粒缺陷问题。本论文总结了PECVD 中薄膜颗粒的类型和形成原因以及改善方法。PECVD�� 立即下载