PECVD SiNx 薄膜应力的研究.pdf

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文件名称：PECVD SiNx 薄膜应力的研究.pdf

文件大小：306KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 12:26:15

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等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越