PECVD SiNx 薄膜应力的研究.pdf 时间:2022-09-25 12:26:15 【文件属性】: 文件名称:PECVD SiNx 薄膜应力的研究.pdf 文件大小:306KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-25 12:26:15 LabVIEW 等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越 立即下载