氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用.pdf

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文件名称：氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用.pdf
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更新时间：2022-09-25 14:40:03
LabVIEW 摘要：利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法（ＱＳＳＰＯＤ）、Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）、红外吸收光谱（ＩＲ）、反射谱等手段，研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温