论文研究-悬臂接触式RF MEMS开关的设计 .pdf

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文件名称：论文研究-悬臂接触式RF MEMS开关的设计 .pdf

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更新时间：2022-09-09 10:14:52

微机电系统

悬臂接触式RF MEMS开关的设计，张义恺，，本文研究的金属接触型RF MEMS开关由悬臂梁，驱动电极，金属触点等部分构成。基于微波、材料和机械设计因素的考虑，本次设计选取了��