论文研究-悬臂接触式RF MEMS开关的设计 .pdf 时间:2022-09-09 10:14:52 【文件属性】: 文件名称:论文研究-悬臂接触式RF MEMS开关的设计 .pdf 文件大小:327KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-09 10:14:52 微机电系统 悬臂接触式RF MEMS开关的设计,张义恺,,本文研究的金属接触型RF MEMS开关由悬臂梁,驱动电极,金属触点等部分构成。基于微波、材料和机械设计因素的考虑,本次设计选取了�� 立即下载