文件名称：新型RF MEMS开关的动态表征 (2007年)
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更新时间：2024-06-12 17:52:29
自然科学 论文
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动。利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量。测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs。