RF_MEMS开关的工艺制备

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文件名称：RF_MEMS开关的工艺制备

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更新时间：2014-05-03 15:31:13

RF MEMS

微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基础上的延伸与拓展，是微电子应用的新突破。RF MEMS开关是MEMS技术的一个分支， 也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点.