文件名称：MEMS悬臂式开关的失效分析① (2004年)
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更新时间：2024-06-04 09:13:46
工程技术 论文
介绍了一种表面微机械系统开关，悬臂材料为Au?SiOxNy?Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励（激励电压为13V）方式，测试其隔离度。获得结果为微机械开关在1～40GHz的范围内隔离度可高达35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近105，应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。