论文研究-多层结构紫外透明导电薄膜的制备及性能研究 .pdf

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文件名称：论文研究-多层结构紫外透明导电薄膜的制备及性能研究 .pdf

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更新时间：2022-09-13 09:05:46

射频磁控溅射

多层结构紫外透明导电薄膜的制备及性能研究，曹文旭，夏晓川，本文采用射频反应磁控溅射的方法制备了氧化物-银-氧化物紫外透明导电薄膜。其中氧化物薄膜是在氩气与氧气的混合气体中溅射GaAs靶制