文件名称：Zno:Al透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究 (2009年)
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更新时间：2024-06-07 09:33:19
自然科学 论文
利用溶胶一凝胶法在石英衬底上制备Al件掺杂znO薄膜，研究了Al3+掺杂对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响。XRD测量结果表明，Zn1-χAlχO薄膜具有六角纤锌矿结构，晶格常数随着Al掺杂浓度的增加而减小；紫外-可见透射光谱（UV）表明，所有薄膜在可见光区的透过率均超过80%；光致发光谱研究发现，随着Al掺杂浓度的增加ZnO的吸收带边发生蓝移，ZRD和光学性能研究都证实了ZnO薄膜中的Al抖是以替位式形式存在于晶格中。