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文件名称：ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究 (2009年)
文件大小：611KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-07 19:02:07
工程技术 论文
采用溶胶-凝胶法在载波片上制备了Al3+掺杂型ZnO薄膜．所用溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前躯物，乙二醇胺为稳定剂经反应制得；用甩膜法在基片上甩膜，经热处理后在玻璃基片制备出掺铝ZnO薄膜；利用X射线分析仪?分光光度计?四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究．