ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究 (2009年)

时间:2024-05-27 12:48:47
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文件名称:ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究 (2009年)

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更新时间:2024-05-27 12:48:47

工程技术 论文

采用溶胶-凝胶法在载波片上制备了Al3+掺杂型ZnO薄膜.所用溶胶以乙二醇甲醚为溶剂,醋酸锌为前躯物,乙二醇胺为稳定剂经反应制得;用甩膜法在基片上甩膜,经热处理后在玻璃基片制备出掺铝ZnO薄膜;利用X射线分析仪?分光光度计?四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究.


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