论文研究-利用衬底温度调控AZO透明导电薄膜的光电性能 .pdf

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文件名称：论文研究-利用衬底温度调控AZO透明导电薄膜的光电性能 .pdf

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更新时间：2022-09-11 12:38:37

物理电子学

利用衬底温度调控AZO透明导电薄膜的光电性能，孙秀英，李福山，掺铝氧化锌（AZO）具有环境友好、储量丰富以及光电性能优越等优点，目前成为透明导电领域的研究热点。本文采用射频磁控溅射技术制