论文研究-AZO薄膜电阻特性研究 .pdf

时间:2022-09-05 06:59:21
【文件属性】:

文件名称:论文研究-AZO薄膜电阻特性研究 .pdf

文件大小:564KB

文件格式:PDF

更新时间:2022-09-05 06:59:21

AZO薄膜

AZO薄膜电阻特性研究,杨家棚,端木庆铎,采用原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术制备AZO薄膜。本文主要研究了ZnO循环百分比和退火时间对AZO薄膜电阻的影响,以及不同组�


网友评论