文件名称:论文研究-AZO薄膜电阻特性研究 .pdf
文件大小:564KB
文件格式:PDF
更新时间:2022-09-05 06:59:21
AZO薄膜
AZO薄膜电阻特性研究,杨家棚,端木庆铎,采用原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术制备AZO薄膜。本文主要研究了ZnO循环百分比和退火时间对AZO薄膜电阻的影响,以及不同组�
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AZO薄膜
AZO薄膜电阻特性研究,杨家棚,端木庆铎,采用原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术制备AZO薄膜。本文主要研究了ZnO循环百分比和退火时间对AZO薄膜电阻的影响,以及不同组�