AZO薄膜的光学性质研究 (2009年)

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文件名称：AZO薄膜的光学性质研究 (2009年)
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更新时间：2021-05-07 23:15:23
自然科学 论文 采用直流反应磁控溅射法，用Zn(99.99%)掺Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜，用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析，并对AZO薄膜的折射率和厚度进行了理论分析。薄膜的光谱分析结果表明：薄膜样品的可见光透射率平均值均在80%以上。AZO薄膜在紫外有很强的吸收峰，在红外区域，其反射率可达70%。通过理论计算得出了AZO薄膜样品的厚度为101 nm, 与台阶仪测量的结果基本相符。