透明导电氧化物薄膜的制备方法研究 (2011年)

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文件名称：透明导电氧化物薄膜的制备方法研究 (2011年)
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更新时间：2021-04-28 15:09:20
自然科学 论文 主要介绍了制备透明导电氧化物薄膜的方法，其中包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法（PLD）、喷涂热解法、分子束外延法（MBE）、溶胶一凝胶技术（sol-gel）法，总结了各种方法的优缺点，并对透明导电氧化物薄膜的研究进行了展望。