论文研究-SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf

时间:2022-09-05 03:26:46
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更新时间:2022-09-05 03:26:46

ZnO 薄膜

SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管,张景文,侯洵,在NH3和O2的混合气氛下,采用激光分子束外延法(L-MBE)在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜, XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高�


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