文件名称：论文研究-SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf
文件大小：426KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 03:26:46
ZnO 薄膜
SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管，张景文，侯洵，在NH3和O2的混合气氛下，采用激光分子束外延法（L-MBE）在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜， XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高�
论文研究-SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf
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ZnO 薄膜
SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管，张景文，侯洵，在NH3和O2的混合气氛下，采用激光分子束外延法（L-MBE）在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜， XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高�