论文研究-半导体ZnO薄膜晶体管 .pdf 时间:2022-09-08 01:47:26 【文件属性】: 文件名称:论文研究-半导体ZnO薄膜晶体管 .pdf 文件大小:399KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-08 01:47:26 薄膜晶体管 半导体ZnO薄膜晶体管,姚绮君,李德杰,本文介绍了一种以射频溅射ZnO材料为有源层的薄膜晶体管。在器件有源层制作中通过气氛控制、添加栅网屏蔽等方法改善器件性能。最终 立即下载