论文研究-半导体ZnO薄膜晶体管 .pdf

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更新时间：2022-09-08 01:47:26

薄膜晶体管

半导体ZnO薄膜晶体管，姚绮君，李德杰，本文介绍了一种以射频溅射ZnO材料为有源层的薄膜晶体管。在器件有源层制作中通过气氛控制、添加栅网屏蔽等方法改善器件性能。最终