论文研究-一种多链式结构的3D-SIC过硅通孔(TSV)容错方案.pdf

时间:2022-09-26 19:30:49
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文件名称:论文研究-一种多链式结构的3D-SIC过硅通孔(TSV)容错方案.pdf

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更新时间:2022-09-26 19:30:49

论文研究

三维(3-Dimensional,3D)电路由于其更高的密度、更高的传输速率及低功耗的优点逐渐受到人们的重视和研究,而硅通孔(Through Silicon Via,TSV)技术是三维电路中互联上下层不同模块的主要方法之一。然而由于制造工艺水平的限制,在芯片制作完成后会出现一些失效TSV,这些失效TSV会导致由其互联的模块失效甚至整个芯片的失效。提出了一种多链式的硅通孔容错方案,通过将多个TSV划分为一个TSV链,多个TSV链复用冗余TSV的方法修复失效TSV。通过相关实验显示,该方案在整体修复率达到90%以上的情况下可以较大地减少冗余TSV增加的个数和面积开销。


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