电极对薄膜体声波谐振器性能的影响_焦向全 1

【文件属性】：
文件名称：电极对薄膜体声波谐振器性能的影响_焦向全 1
文件大小：403KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-08-04 13:38:31
摘要：采用有限元分析软件ＣＯＭＳＯＬＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ仿真了三维结构的谐振器，探讨了不同的顶电极形状对谐振器性能的影响。有效机电耦合系数（ｋｔｅｆｆ）随电