电极对薄膜体声波谐振器性能的影响_焦向全 1

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文件名称：电极对薄膜体声波谐振器性能的影响_焦向全 1

文件大小：403KB

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更新时间：2022-08-04 13:38:31

摘要：采用有限元分析软件ＣＯＭＳＯＬＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ仿真了三维结构的谐振器，探讨了不同的顶电极形状对谐振器性能的影响。有效机电耦合系数（ｋｔｅｆｆ）随电