基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究1

【文件属性】：
文件名称：基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究1
文件大小：17.8MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-08-04 13:47:39
摘要随着光刻技术及微纳米加工技术的发展，薄膜体声波谐振器( Thi n f i l m bul kacoust i c wave resonat or FBAR