基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究1

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文件名称：基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究1

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更新时间：2022-08-04 13:47:39

摘要随着光刻技术及微纳米加工技术的发展，薄膜体声波谐振器( Thi n f i l m bul kacoust i c wave resonat or FBAR