新型薄膜体声波谐振器(FBAR)的研究与制备1

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文件名称：新型薄膜体声波谐振器(FBAR)的研究与制备1

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更新时间：2022-08-04 14:53:59

摘要在 2400 µε 应变范围下其作为应变传感器的灵敏度为 80 Hz/µε，并具有良好的稳定性。频率温度系数（TCF）高达- 4630 ppm/，具有极高线