薄膜体声波谐振器的研究与仿真_陈鹏光1

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文件名称：薄膜体声波谐振器的研究与仿真_陈鹏光1
文件大小：780KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-08-04 13:48:46
摘要：随着５Ｇ通信技术的发展，射频前端器件趋向于集成化、微型化，使得薄膜体声波谐振器（ＦＢＡＲ）技术成为通信领域的研究热点之一。该文对 ＦＢＡＲ 谐振单元选择不