CVD金刚石膜激光切割工艺研究 (2005年)

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文件名称：CVD金刚石膜激光切割工艺研究 (2005年)
文件大小：1.02MB
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更新时间：2021-06-01 06:48:27
工程技术 论文 研究了焦点位置、光栏、输出能量对金刚石切割的影响。结果表明采用Nd:YAG激光器切割金刚石膜时,焦点处于切割膜的中部时,切缝最小;加光栏后,有利于减小切割宽度,提高断面质量;对于一定厚度的金刚石膜,应选择最小的、一次能切透金刚石膜的激光输出能量。