微波等离子刻蚀CVD金刚石膜提高机械研磨效率 (2005年)

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文件名称：微波等离子刻蚀CVD金刚石膜提高机械研磨效率 (2005年)

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更新时间：2024-06-20 23:23:25

工程技术 论文

针对低温低压化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面粗糙且厚薄不均,普通的方法抛光金刚石膜效率低的现象,采用空气等离子刻蚀金刚石膜与机械研磨相结合的抛光工艺,提高了金刚石膜的抛光加工效率。并与纯机械研磨法比较,通过观察样品的表面形貌,说明等离子刻蚀的作用。