文件名称：空气环境下制备相变特性VO2薄膜 (2009年)
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更新时间：2024-05-15 11:16:20
自然科学 论文
提出了一种制备相变特性VO2薄膜的简易方法.将制备好的金属钒薄膜置于440℃空气下氧化处理，获得相变温度为60℃的单斜VO2薄膜，薄膜方块电阻值在60～85℃范围内变化量达2.2个数量级.X射线衍射分析(XRD)表明薄膜的主要成分为单斜相VO2.探索了此工艺的一般性规律，分析高价态钒对薄膜相变的影响.
空气环境下制备相变特性VO2薄膜 (2009年)
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