文件名称：一种全新的硅微阵列陀螺仪* (2013年)
文件大小：436KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-01 00:54:13
工程技术 论文
介绍了一种全新的硅微阵列陀螺仪的结构设计、模态仿真、电路闭环控制、数据融合方法和相关的实验结果。基于热弹性阻尼理论的数值仿真，利用结构解耦的方法设计了硅微阵列陀螺仪的四质量块结构。利用ANSYS软件对硅微阵列陀螺仪的驱动模态和检测模态进行了仿真，仿真结果表明：硅微阵列陀螺仪共有4种不同的工作模态。根据静电力反馈原理，设计了基于数字锁相控制和数字闭环控制方法的控制电路。电路测试结构表明硅微阵列陀螺仪驱动模态的振动幅值的相对稳定性可以达到9×10-5。分析了硅微阵列陀螺仪的随机漂移特性，建立了漂移误差模型，并