硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试* (2012年)

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文件名称：硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试* (2012年)
文件大小：312KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-24 12:59:36
工程技术 论文 为了提高硅微机械陀螺仪的精度和工作可靠性，提出了一种新的硅微阵列陀螺仪结构设计方案。该陀螺仪由4个质量块构成，采用半解耦结构设计，结构完全对称，驱动模态和检测模态的频率匹配性好。分析了硅微阵列陀螺仪的结构和工作原理，并利用ANSYS有限元软件进行了结构仿真，通过调节结构参数实现了各驱动模态与敏感模态固有频率的匹配。对阵列陀螺仪样品进行了测试，实验测试结果表明，驱动模态存在3个振型，同频反相振动的幅值最大，与仿真结果一致。