硅微陀螺仪的误差分析 (2006年)

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文件名称：硅微陀螺仪的误差分析 (2006年)
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更新时间：2021-04-25 17:49:10
工程技术 论文 以z轴硅微陀螺仪为研究对象，对加工误差产生的误差信号进行了分析。由于加工误差，使得陀螺仪结构不对称，主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等，产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象。以动力学方程为基础，分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号；以静电理论为基础，分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号。分析结果表明，这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号。最后，介绍了一种减小正交误差的方法，并进行了仿真。