椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量 (2005年)

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文件名称：椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量 (2005年)

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更新时间：2024-06-10 17:53:13

自然科学 论文

应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品，讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合，表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度，并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系．