文件名称：椭偏术测定吸收薄膜的n、k、d值-多入射角法 (1986年)
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更新时间：2024-06-12 18:43:55
自然科学 论文
本文提出了一种多入射角椭偏术无损测定吸收薄膜ｎ、ｋ、ｄ的方法（ＱＷＤ－８４法）。叙述了它的基本原理和数据处理方法，探讨了测定技术中的几个要点，给出了测定流程图，并对玻璃和硅衬底的一些吸收薄膜进行了测定和比较。测定结果表明：该法是一种一次性无损实测吸收薄膜ｎ、ｋ、ｄ值的有效方法，它系统可靠、方便易行，对薄膜参数的测定和成膜工艺的研究有较重要的价值。