论文研究-光罩盒管理系统的优化来降低Haze的影响 .pdf

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更新时间：2022-09-05 10:55:13

光罩

光罩盒管理系统的优化来降低Haze的影响，张一平，朱亦鸣，光罩在日常使用中会因为环境、光罩存储方式等因素产生Haze。在晶圆厂内Haze的产生是比较正常的现象，它对生产上的影响是haze 的光罩��