论文研究-PWQ方法评估光罩缺陷的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-06 23:18:32

集成电路制造

PWQ方法评估光罩缺陷的研究，王恺，，本文研究了应用PWQ（Process Window Qualification）方法批量检查28nm产品非金属、金属以及孔洞图形层的光罩缺陷，评估光罩缺陷改善方案等问�