文件名称：溶胶凝胶法制备Zn0薄膜及性质研究 (2006年)
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更新时间：2024-06-14 12:09:28
自然科学 论文
以二水醋酸锌为原料，使用溶胶凝胶法在（100）Si衬底上旋转涂敷得到ZnO薄膜。采用傅立叶变换红外光谱和X射线衍射（XRD）分析经N2、空气、02不同气氛400℃：退火ZnO薄膜的成分和结构差异。使用XRD、原子力显微镜和光致发光手段重点研究了N2气氛条件下，zn0薄膜结构与发光特性随退火温度的变化规律，发现400℃下退火更适于干凝胶薄膜经历结构弛豫，生成具有（002）择优取向、性质优良的纳米晶ZnO薄膜。计算该样品的晶粒尺寸为41.6nm，晶格常数α=0.03253nm，c=0.521nm，其PL光谱出