文件名称：溶胶-凝胶法制备镍酸镧薄膜的研究 (2006年)
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更新时间：2024-06-19 19:08:13
自然科学 论文
采用溶胶-凝胶 (sol-gel)法,使用浓度分别为 0.1 mol/L、0.2 mol/L和 0.3 mol/L的前驱体溶液,在单晶 Si(100)衬底上制备了镍酸镧[LaNiO3 ](简称 LNO)导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对 LNO薄膜结构和导电性能的影响 。X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的(110)择优取向 。原子力显微镜分析显示,用 0.2 mol/L前驱体溶液制备的 LNO 薄膜样品晶粒明显大于 0.1 mol/L的样品 。采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当