文件名称：基于声表面波技术数字微流体基片间输运研究* (2009年)
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更新时间：2024-05-15 14:07:00
工程技术 论文
复杂的生化分析系统往往很难集成于一个微流基片中，而按功能分别集成于两个或多个基片，为此，需要实现质荷在两基片问输运。提出了采用声表面波技术实现数字微流体在压电基片和玻璃基片间输运的新方法，它在128°YX-LiNbO3基片上光刻一个叉指换能器和一个反射栅，经功率放大器放大后频率为27．5 MHz的RF信号加到叉指换能器上，它激发的声表面波驱动其声路径上的数字微流体，使其按声传播方向快速运动，并到达与其相连接且经疏水处理的弧形聚合物表面，数字微流体由于自身重力克服表面张力作用沿弧形聚合物表面滑落到玻璃基片，