文件名称：基于声表面波技术的微流体混合及仿真水 (2011年)
文件大小：276KB
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更新时间：2024-05-15 12:04:02
工程技术 论文
报道了在微流系统中使用基于叉指聚焦换能器的声表面波的-种有效方法。利用lift-0ff和软光刻技术在铌酸锂（LiNbO3）压电单晶片基底上制作器件。使用有限元分析软件COMs0L Mllltiphysics分别模拟聚焦叉指电极和平行叉指电极两种声表面波的形成和分布。通过与相同条件下的平行叉指电极比较，说明聚焦叉指电极可以显著增强声表面波的能量。实验结果说明聚焦叉指电极可以在几秒内快速的混合PS（聚苯一乙烯）球。这种器件为生物应用提供了一种有用的微流芯片体系。